Nitrogen trifluorida
senyawa kimia
Nitrogen trifluorida adalah senyawa anorganik dengan rumus NF3. Senyawa nitrogen-fluor ini adalah gas tak berwarna, tak berbau, tidak mudah terbakar. Penggunaannya sebagai etchant dalam mikroelektronika ditemukan meningkat.
| |
| |
| Nama | |
|---|---|
| Nama IUPAC
Nitrogen trifluoride
| |
| Nama lain
Nitrogen fluorida
Trifluoramina Trifluoramonia | |
| Penanda | |
Model 3D (JSmol)
|
|
| 3DMet | {{{3DMet}}} |
| ChEBI | |
| ChemSpider | |
| Nomor EC | |
| Referensi Gmelin | 1551 |
PubChem CID
|
|
| Nomor RTECS | {{{value}}} |
| Nomor UN | 2451 |
CompTox Dashboard (EPA)
|
|
| |
| |
| Sifat | |
| NF3 | |
| Massa molar | 71,00 g/mol |
| Penampilan | Gas tak berwarna |
| Bau | berjamur |
| Densitas | 3,003 kg/m3 (1 atm, 15 °C) 1.885 g/cm3 (cair pada b.p.) |
| Titik lebur | −207,15 C |
| Titik didih | −129,06 °C |
| 0,021 g/100 mL | |
| Tekanan uap | >1 atm (20 °C)[1] |
| Indeks bias (nD) | 1,0004 |
| Struktur | |
| piramidal trigonal | |
| 0,234 D | |
| Termokimia | |
| Kapasitas kalor (C) | 53,26 J/(mol·K) |
| Entropi molar standar (S |
260,3 J/(mol·K) |
| Entalpi pembentukan standar (ΔfH |
−31,4 kJ/mol[2] −109 kJ/mol[3] |
| Energi bebas Gibbs (ΔfG) | −84,4 kJ/mol |
| Bahaya | |
| Lembar data keselamatan | AirLiquide |
| Titik nyala | Tidak mudah terbakar |
| Dosis atau konsentrasi letal (LD, LC): | |
LC50 (konsentrasi median)
|
2000 ppm (mencit, 4 hr) 9600 ppm (anjing, 1 hr) 7500 ppm (monyet, 1 hr) 6700 ppm (tikus, 1 hr) 7500 ppm (mencit, 1 hr)[4] |
| Batas imbas kesehatan AS (NIOSH): | |
PEL (yang diperbolehkan)
|
TWA 10 ppm (29 mg/m3)[1] |
REL (yang direkomendasikan)
|
TWA 10 ppm (29 mg/m3)[1] |
IDLH (langsung berbahaya)
|
1000 ppm[1] |
| Senyawa terkait | |
Anion lain
|
nitrogen triklorida nitrogen tribromida nitrogen triiodida amonia |
Kation lainnya
|
fosfor triklorida arsenik triklorida antimon triklorida bismut triklorida |
Kecuali dinyatakan lain, data di atas berlaku pada suhu dan tekanan standar (25 °C [77 °F], 100 kPa). | |
 verifikasi (apa ini   ?)
| |
| Referensi | |
Referensi
sunting- ^ a b c d "NIOSH Pocket Guide to Chemical Hazards #0455". National Institute for Occupational Safety and Health (NIOSH).
- ^ Sinke, G. C. (1967). "The enthalpy of dissociation of nitrogen trifluoride". J. Phys. Chem. 71 (2): 359–360. doi:10.1021/j100861a022.
- ^ Inorganic Chemistry, hlm. 462, pada Google Books
- ^ "Nitrogen trifluoride". Immediately Dangerous to Life and Health. National Institute for Occupational Safety and Health (NIOSH).
Pranala luar
sunting- National Pollutant Inventory – Fluoride and compounds fact sheet di Wayback Machine (diarsipkan tanggal December 22, 2003)
- WebBook page for NF3
- CDC - NIOSH Pocket Guide to Chemical Hazards
 | Artikel bertopik kimia ini adalah sebuah rintisan. Anda dapat membantu Wikipedia dengan mengembangkannya. |